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百級(jí)半導(dǎo)體芯片潔凈室設(shè)計(jì)施工

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百級(jí)芯片半導(dǎo)體潔凈室設(shè)計(jì)施工.得創(chuàng)凈化工程專業(yè)從事芯片潔凈室工程規(guī)劃,設(shè)計(jì),施工一條路凈化工程公司,歡迎來電咨詢:027-82289886
潔凈室主要應(yīng)用于電子、半導(dǎo)體、食品、印刷包裝等行業(yè)。隨著社會(huì)的發(fā)展,越來越多的行業(yè)也需要潔凈室凈化工程。那么電子廠的潔凈室是做什么的呢?

百級(jí)芯片潔凈室參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)

1.潔凈度標(biāo)準(zhǔn)
粉塵顆粒最大允許數(shù)量為0.5微米以上,大于或等于5微米的顆粒數(shù)量不超過350萬,大于或等于5微米的顆粒數(shù)量不超過2萬。0.5微米的概念是什么?--頭發(fā)絲的直徑約為70~100微米,細(xì)菌的大小約為1...
2.壓差標(biāo)準(zhǔn)
同一潔凈度等級(jí)的潔凈室之間的壓差應(yīng)一致,不同潔凈度等級(jí)的相鄰潔凈室之間的壓差應(yīng)≥5Pa,潔凈室與非潔凈室之間的壓差應(yīng)≥10Pa。這主要是為了保證空氣從潔凈區(qū)流向不潔凈區(qū),避免空氣倒流。
3.溫度和濕度
溫度一般控制在冬季20~22℃;夏季24~26℃;波動(dòng)范圍2℃。潔凈室的濕度冬季控制在30~50%,夏季控制在50~70%。

芯片潔凈室標(biāo)準(zhǔn) 芯片潔凈室標(biāo)準(zhǔn)
   

百級(jí)芯片潔凈室空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

設(shè)計(jì)要求 
1 空氣潔凈度十萬級(jí)及高于十萬級(jí)的空氣凈化處理,應(yīng)采用初效、 中效、 高效過濾器三級(jí)過濾。 對(duì)于十萬級(jí)空氣凈化處理,也可采用亞高效空氣過濾器代替高效過濾器。 低于十萬級(jí)的空氣凈化處理,應(yīng)采用初效、 中效過濾器二級(jí)過濾。 
2 空氣過濾器的選用、 布置方式: 
a、 初效空氣過濾器不應(yīng)選用浸油式過濾器; 
b、 中效空氣過濾器且集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段; 
c、 高效或亞高效空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的末端。 
3 下列情況的空氣凈化系統(tǒng)宜分開設(shè)置: 
a、 單向流潔凈室與非單向流潔凈室; 
b、 高效空氣凈化系統(tǒng)與中效空氣凈化系統(tǒng); 
c、 運(yùn)行班次和使用時(shí)間不同的潔凈室; 
4 下列情況的空氣凈化系統(tǒng),如經(jīng)處理仍不能避免交叉污染時(shí), 則不應(yīng)利用回風(fēng)。 
a、 固體物料的粉碎、 稱量、 配料、 混合、 制粒、 壓片、 包衣、灌裝等工序; 
b、 固體口服制劑的顆粒、 成品干燥設(shè)備所使用的凈化空氣; 
c、 用有機(jī)溶煤精制的原料藥精制、 干燥工序; 
d、 凡工藝過程中產(chǎn)生大量有害物質(zhì), 揮發(fā)性氣體的生產(chǎn)工序; 
5 對(duì)面積較大空氣潔凈度較高,位置集中及噪音、 振動(dòng)控制要求嚴(yán)格的潔凈室宜采用集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)。 
a、 需要消毒滅菌的潔凈室,應(yīng)設(shè)排風(fēng)設(shè)施。 
b、 潔凈室排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)有防倒灌措施。 
c、 含有易燃、易爆物質(zhì)局部排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)有防火、 防爆措施。 
d、 潔凈室內(nèi)生產(chǎn)粉塵和有害氣體的工藝設(shè)備, 應(yīng)設(shè)單獨(dú)的局部除塵和排風(fēng)裝置 
6 采用分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。 
a、 換鞋室、更衣室、洗消室、以及廁所、淋浴室應(yīng)設(shè)通風(fēng)裝置,室內(nèi)靜壓值應(yīng)低于有空氣潔凈度要求的生產(chǎn)區(qū)。 
b、 送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)的啟閉應(yīng)聯(lián)鎖。系統(tǒng)的開啟程序?yàn)橄乳_送風(fēng)機(jī),再開回風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī)。系統(tǒng)關(guān)閉時(shí)操作程序反之。 
c、 非連續(xù)運(yùn)行的潔凈室,可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班風(fēng)機(jī),并保證室內(nèi)空氣潔凈度和壓力。

芯片潔凈室設(shè)計(jì) 芯片潔凈室設(shè)計(jì)
   

百級(jí)芯片潔凈室設(shè)計(jì)依據(jù)

《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》 (JGJ71-90)
《科學(xué)實(shí)驗(yàn)建筑設(shè)計(jì)規(guī)范》 (JGJ91-93)
《實(shí)驗(yàn)室生物安全通用要求》 (GB19489-2004)
《通風(fēng)與空調(diào)工程施工》 (GB50243-2002)
《采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》 (GB50019-2003)
《通風(fēng)空調(diào)風(fēng)口設(shè)計(jì)規(guī)范》
《凈化車間設(shè)計(jì)規(guī)范》 (GB 50457)
《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》 (GB/T 16292)
潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》 (GBJ50073-2001)
《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》     (JGJ71-90)
《暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》 (GBJ19-87)
《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》 (GBJ16-87)
《工業(yè)企業(yè)噪聲控制設(shè)計(jì)規(guī)范》 (GBJ87-85)
《工業(yè)企業(yè)照明設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)》 (GB50034-92)

芯片潔凈室設(shè)計(jì) 芯片潔凈室設(shè)計(jì)
   

百級(jí)芯片潔凈室噪聲微振的設(shè)計(jì)

1、動(dòng)態(tài)測(cè)試時(shí),潔凈室的噪聲水平不應(yīng)超過70分貝A。
2、空態(tài)試驗(yàn)時(shí),亂流潔凈室的噪聲級(jí)不應(yīng)大于60分貝A;層流潔凈室的噪聲水平不應(yīng)大于65分貝A。
①由于技術(shù)和經(jīng)濟(jì)條件的限制,或噪聲大于70分貝A如果對(duì)生產(chǎn)沒有影響,可以適當(dāng)放寬噪聲級(jí)別,但不應(yīng)大于75分貝A;
②上述噪聲水平是指在室內(nèi)每個(gè)工作點(diǎn)(人員離開)中人耳位置的測(cè)量值。對(duì)于改變?cè)肼暎谡9ぷ魅諆?nèi)在同一位置的等效連續(xù)聲壓水平。
對(duì)于潔凈室的噪聲頻譜限制,應(yīng)采用雙頻程聲壓級(jí);每個(gè)頻帶的聲壓級(jí)值不應(yīng)大于。潔凈室的平面、剖面布置,應(yīng)考慮噪聲控制的要求,其圍護(hù)結(jié)構(gòu)應(yīng)具有良好的隔音性能,并應(yīng)使各部分隔音量接近。
低噪聲產(chǎn)品應(yīng)用于潔凈室的各種設(shè)備。對(duì)于輻射噪聲超過潔凈室允許值的設(shè)備,應(yīng)設(shè)置專門的隔音設(shè)施(如隔音室、隔音罩等。
凈化空調(diào)系統(tǒng)噪聲超過允許值時(shí),應(yīng)采取隔音、消聲、隔振等控制措施。
除事故排氣外,潔凈室內(nèi)的排氣系統(tǒng)進(jìn)行降噪設(shè)計(jì)。
3、凈化空調(diào)系統(tǒng),根據(jù)室內(nèi)噪聲等級(jí)的要求,風(fēng)管內(nèi)的風(fēng)速應(yīng)按以下規(guī)定選擇:
①總風(fēng)管6-10米/秒;
②無送回風(fēng)口的文風(fēng)管為6~8米/秒;
4、有送回風(fēng)口的文風(fēng)管為3~6米/秒。
清潔工廠的噪聲控制設(shè)計(jì)必須考慮生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度要求,不得因噪聲控制而影響潔凈室的凈化條件。

芯片潔凈室設(shè)計(jì) 芯片潔凈室設(shè)計(jì)
   

百級(jí)芯片潔凈室凈化通風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)

潔凈室凈化通風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)  
確定潔凈室各潔凈室的空氣潔凈度等級(jí),應(yīng)滿足以下要求:  
1、潔凈室內(nèi)有多種工序時(shí),應(yīng)根據(jù)各工序的不同要求,采用不同的空氣潔凈度等級(jí)。  
2、在滿足人工生產(chǎn)工藝要求的前提下,潔凈室的氣流組水平應(yīng)采用局部工作區(qū)空氣凈化與全室空氣凈化相結(jié)合的形式。  
3、層流潔凈室和亂流潔凈室,以及不同運(yùn)行時(shí)間和使用時(shí)間的潔凈室,其凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)分開設(shè)置。  

潔凈室的計(jì)算溫度、溫度應(yīng)符合以下規(guī)定:  
1、滿足生產(chǎn)工藝要求  
2、潔凈室溫度為20~26度,溫度為70度,生產(chǎn)工藝無溫濕度要求。  
3、潔凈室內(nèi)應(yīng)保證一定的新鮮空氣量,其數(shù)值在以下風(fēng)量中頻繁取最大值;  
4、亂流潔凈室總風(fēng)量為10%~30%,層流潔凈室總風(fēng)量為2~4%。  
5、補(bǔ)償室內(nèi)排氣和保持室內(nèi)正壓所需的新鮮空氣量。  
6、保證室內(nèi)每人每小時(shí)新鮮空氣量不小于40立方米。  
6.1潔凈區(qū)應(yīng)采用移動(dòng)式高效真空吸塵器或設(shè)置集中式真空吸塵系統(tǒng)進(jìn)行潔凈。潔凈室內(nèi)集中式真空吸塵系統(tǒng)的管道應(yīng)暗敷。  
6.2在凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)中,可根據(jù)附錄四和附錄五的規(guī)定,規(guī)定施工和維護(hù)管理要求。

芯片潔凈室設(shè)計(jì) 芯片潔凈室設(shè)計(jì)
   

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