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千級觸控與指紋識別芯片半導體潔凈室裝修設計

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千級觸控與指紋識別芯片半導體潔凈室裝修設計.得創凈化工程專業從事芯片潔凈室工程規劃,設計,施工一條路凈化工程公司,歡迎來電咨詢:027-82289886
以芯片生產車間、集成電路潔凈室和磁盤制造車間為代表的電子工業工程潔凈室(區)除了對微粒的嚴格控制外,還對溫濕度的控制、照度(甚至光源要求)微震等要求更嚴格,消除靜電對生產產品的影響,從而使環境達到電子產品在潔凈環境的生產工藝要求。

千級芯片潔凈室標準

潔凈室標準
1.潔凈室必須保持一定的相對正壓,不同等級的潔凈車間之間的壓力不得小于5Pa,清潔車間與非清潔車間之間的壓力不小于10Pa,為了防止低級潔凈車間的空氣流回高級潔凈車間,溫度應保持在18至26攝氏度。
2、最大允許塵粒數,大或等于0.5微米的粒子數量不得超過1050000,5微米的粒子數量不得超過60000,最大允許的微生物數量不得超過每立方米1000。

芯片潔凈室標準 芯片潔凈室標準
   

千級芯片潔凈室選址要求及總體設計

潔凈室選址要求及總體設計  
1.應在大氣粉塵濃度較低、自然環境較好的地區;  
2.遠離鐵路、碼頭、機場、交通干線、工廠、倉庫、堆場等空氣污染、振動或噪聲干擾嚴重的區域,排放大量粉塵和有害氣體。如果不能遠離嚴重的空氣污染源,應位于其最大頻率風向上風側,或全年最小頻率風向下風側;  
3.應布置在環境潔凈、人流不穿越或少穿越的廠區。  
4.對于具有微振動控制要求的凈化項目的位置選擇,應實際測量周圍現有振動源的振動影響,并分析比較精密設備和精密儀器的允許環境振動值。  
5.潔凈室與交通干道之間的距離不宜小于50米。  
6.潔凈室周圍應設置環形消防車道(可使用交通道路),如有困難,可沿廠房兩條長邊設置消防車道。  
7.潔凈室周圍的路面應選用整體性好、灰塵少的材料。  
8.潔凈室周圍應進行綠化。草坪可以鋪設,樹木可以種植,對大氣中的粉塵和農業沒有有害影響,可以形成綠色社區。但是,不應妨礙消防操作。

芯片潔凈室設計 芯片潔凈室設計
   

千級芯片潔凈室工藝管道設計專要求

潔凈室工藝管道設計專要求  
對于空氣潔凈度有要求的區域,工藝管道的主管應敷設在技術夾層和技術夾層中。需要拆卸、清洗和消毒的管道應使用,易燃、易爆和有毒材料的管道也應使用。如果敷設在技術夾層和技術夾層中,應采取相應的通風措施。  
干管系統應設置必要的吹掃口,放凈口和取樣口。  
潔凈管材應采用低碳優質不銹鋼或其它無污染材料。  
工藝管道上的閥門、管件材料應與管道材料相適應。  
除滿足工藝要求外,潔凈室內使用的閥門、管件應采用拆卸、清洗、檢修等結構形式。  
管道和設備應采用金屬管連接,如果需要軟管,應采用可靠的柔性接管。  
應焊接技術夾層和技術夾道中的干管連接。  
法蘭、螺紋或其他密封性能優異的連接件應用于管道與閥門的連接。與材料接觸的法蘭和螺紋應用聚四氟乙烯密封。套管穿過潔凈室的墻壁、地板和天花板,套管內的管段不得有焊縫、螺紋或法蘭。管道與套管之間應采取可靠的密封措施。  
潔凈室內敷設管道較少,引入潔凈室的支管應暗敷。  
潔凈室內的管道應排列整齊,盡量減少閥門、管件和管道支架。  
潔凈室內的管道應根據其表面溫度、熱量或吸熱量以及環境的溫度和濕度來確定。冷絕緣管道的外壁溫度不得低于環境的露點溫度。  
管道保溫層表面必須平整、光滑,不得有顆粒物質脫落,并應采用金屬外殼進行保護。  
潔凈室內管道外壁應采取防銹措施。潔凈室內的各種管道都設有標明介質及其流動方向的標志。

芯片潔凈室設計 芯片潔凈室設計
   

千級芯片潔凈室空調系統的設計

1、凈化空調系統所控制的參數除一般空調系統的室內溫、濕度之外,還要控制房間的潔凈度和壓力等參數,并且溫度、濕度的控制精度較高,有的潔凈室要求溫度控制在±0.1℃范圍內等。 
2、凈化空調系統的空氣處理過程除熱、濕處理外,必須對空氣進簽訂初效濾、中間中效過濾、末端高效過濾等,高級別的潔凈室為了有效、節能地對送入潔凈室的空氣進行處理,采用集中新風處理,僅新風處理系統便設有多級過濾,需要嚴格需去除空氣中污染物分子時,還應設置各類化學過濾器。 
3、潔凈室的氣流分布、氣流組織方面,要盡量限制和減少塵粒的擴散,減少二次氣流和渦流,使潔凈的氣流不受污染,以最短的距離直接送到工作區。 
4、為確保潔凈室不受室外污染或鄰室的污染,潔凈室與室外或鄰室必須維持一定的壓差(正壓或負壓),最小壓差在5Pa以上,這就要求一定的正壓風量或一定的排風風量。 
5、凈化空調系統的風量較大(換氣次數一般10次至數百次),相應的能耗就大,系統造價也就高。 
6、凈化空調系統的空氣處理設備、風管材質和密封材料根據空氣潔凈度等級的不同都有一定的要求;風管制作和安裝后都必須嚴格按規定進行清洗、擦拭和密封處理等。 
7凈化空調系統安裝后應按規定進行調試和綜合性能檢測,達到所要求的空氣潔凈度等級;對系統中的高效過濾器及其安裝質量均應按規定進行檢漏等。

芯片潔凈室設計 芯片潔凈室設計
   

千級芯片潔凈室通風風管及附件的清洗標準

通風風管及附件的清洗標準 
凈化空調系統工程在施工過程中的風管清洗是該系統施工全過程中的重要工序,做好風管的清洗,不僅可以控制該系統的潔凈度,同時還保證高效過濾器的使用壽命,系統運行的潔凈度。 
1清洗用材料 
(1)潔凈空調風管清洗工作所使用的清洗劑、溶劑和抹布應符合潔凈室的相關要求。 
(2)凡用自來水清洗風管及零件外表面時,應保持水質潔凈無雜質、泥沙。 
2對清洗用具的要求 
(1)凡清洗風管用的機具設備應專管專用,不得混作他用,更不得使用清洗風管的容器盛裝其他溶劑、油類及污水,并應保持容器的潔凈干凈。 
(2)在清洗過程中使用的任保物質不得對人體和材質有危害,并應保證不帶塵不產塵(如掉渣、掉毛、使用后產生殘跡等)。 
3作業條件 
(1)清洗場地要要求封閉隔離,無塵土。清洗場地地面應鋪設干凈不產塵的地面保護材料(如橡膠板、塑料板等),每天至少清掃擦拭2~3次,保持場內干凈無塵。 
(2)清洗場地應建立完善的衛生及管理制度,對進出人員及機具、材料、零部件進行檢查,符合潔凈要求方可攜帶入內。 
(3)清洗、漏光檢驗場地可使用廠房進行間壁隔離設置,但應符合潔凈無塵源的要求和漏光檢驗時遮光的要求,并便于管理和成品的運輸。 
(4)清洗場地應配備良好的通風設施,保持良好的通風狀態,在風管清洗時(包括槽、罐內清洗)應具有良好的通風方可施工。 
4作業過程 
(1)風管及部件的清洗一般采用以下順序。 
檢查涂交密封是否合格,如不合格應補涂,直至合格。 
用半于濕抹布擦拭外表面。 
用潔凈半干擦布擦拭內表面浮塵。 
用三氯乙烯或經稀釋的乙醇、活性清洗劑擦拭內表面,去掉所有的油層、油漬。 
將擦凈的產品進行干燥處理(風干或吹干)。 
用白綢布檢查內表面清洗質量,白綢布揩擦不留任何灰跡、油漬即為清洗合格。 
立即將產品兩端用塑料薄膜及粘膠帶(50mm寬)進行封閉保護,防止外界不凈空氣滲入,嚴禁使用捆扎方法草草了事。 
(2)專業技術人員應根據空氣潔凈度等級采用的清洗劑、清洗部位等要求向操作人員進行技術交底,對第一次進廠進行該工序操作人員進行培訓。 
(3)風管清洗后,管內應無油漬、灰跡,應以白綢布深入管內擦拭,綢布雪白無油漬、灰跡為合格。
5成品保護 
(1)凡清洗后的產品,兩端應用塑料薄膜進行封閉保護,工作需要揭開保護膜,在操作后應立即恢復密封,非工作需要不得擅自揭開保護膜。 
(2)保護膜遭破壞應及時修復,保證管內潔凈度,否則應重新清洗,重新密封處理。 
(3)凡經檢查合格應加檢驗合格標志,并妥善存放保管,防止混用。存放場地應清掃干凈,鋪設橡膠板加以保護。

芯片潔凈室設計 芯片潔凈室設計
   

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