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百級半導體無塵室設計

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無塵室空調系統的設計

1、無塵室凈化空調系統所控制的參數除一般空調系統的室內溫、濕度之外,還要控制房間的潔凈度和壓力等參數,并且溫度、濕度的控制精度較高,有的無塵室要求溫度控制在±0.1℃范圍內等。
2、凈化空調系統的空氣處理過程除熱、濕處理外,必須對空氣進簽訂初效濾、中間中效過濾、末端高效過濾等,高級別的無塵室為了有效、節能地對送入無塵室的空氣進行處理,采用集中新風處理,僅新風處理系統便設有多級過濾,需要嚴格需去除空氣中污染物分子時,還應設置各類化學過濾器。
3、無塵室的氣流分布、氣流組織方面,要盡量限制和減少塵粒的擴散,減少二次氣流和渦流,使潔凈的氣流不受污染,以最短的距離直接送到工作區。
4、為確保無塵室不受室外污染或鄰室的污染,無塵室與室外或鄰室必須維持一定的壓差(正壓或負壓),最小壓差在5Pa以上,這就要求一定的正壓風量或一定的排風風量。
5、凈化空調系統的風量較大(換氣次數一般10次至數百次),相應的能耗就大,系統造價也就高。
6、凈化空調系統的空氣處理設備、風管材質和密封材料根據空氣潔凈度等級的不同都有一定的要求;風管制作和安裝后都必須嚴格按規定進行清洗、擦拭和密封處理等。
7、凈化空調系統安裝后應按規定進行調試和綜合性能檢測,達到所要求的空氣潔凈度等級;對系統中的高效過濾器及其安裝質量均應按規定進行檢漏等。

百級無塵室凈化系統設計

無塵室室內氣流倒灌,為防止室外氣流倒灌。防止無塵室的凈化空調系統停止運行時,室外空氣倒灌流入室內,引起污染和沉積。工程中常用的防倒灌措施是:
①采用設置中效過濾器,這種方式結構簡單、維護方便;
②采用止回閥,使用方便,但密閉性較差;
③采用密閉閥,密閉性好,但結構復雜,管理不便;
④采用自控裝置。
2 含有易燃、易爆局部排風系統的防火防爆。
3 排風介質中有害物濃度及排放量超過國家或地區有害物排放濃度及排放量規定時,應進行無害化處理。
4 對含有水蒸氣和凝結性物質的排風系統,應設坡度及排放口。無塵室內的換鞋、存外衣、盥洗、廁所和淋浴等生產輔助房間,應采取通風措施,其室內的靜壓值,應低于潔凈區。

 

百級無塵室通風的設計

1、無塵室空調通風系統帶走無塵室的余熱、 余濕, 或補給車間所需的熱量、 濕量, 來維廠無塵室的設計溫度、 濕度。 這一點和其它空調系統是一致的, 也是主要任務之一。
  2、無塵室空調通風系統保證供給無塵室足量的潔凈空氣的稀釋、排除車間在生產過程中,由于人員和工藝所污染的空氣, 使車間的含塵、 菌濃度達到所規定的潔凈等級。
  3、無塵室空調通風系統補給足量的凈化空氣稀釋車間的有害物濃度,如工藝過程中散發的易燃、 易爆有機溶劑和有害氣體,以確保車間空氣中的有害物濃度低于相關標準所規定的最高容許濃度。
  4、無塵室空調通風系統供給無塵室充足的室外新鮮空氣, 使車間的空氣品質, 符合人們正常工作所需的衛生標準。
  5、無塵室空調通風系統根據工藝要求, 通過送、 回、 排風量的不同匹配, 以維持車間相對于室外或鄰室, 或走道一定的正壓值或負壓值。 以控制相鄰空間氣流或污染物的流向。
  6、采取相應的隔離、 局部排風等措施, 防止工藝產生的粉塵、 大量余熱、 余濕等有害物在車間擴散。
  7、設置必要的分離、 收集裝置, 既防止由無塵室排出去的有害物質污染大氣, 又可回收部分排風帶走的可利用藥塵。

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