千級級半導體無塵室裝修工程

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根據應用領域和產品的不同，無塵室也有設計方案上的區別，因此，電子芯片的無塵室設計綜合性的改造，只有充分了解電子造業的各車間功能、生產工藝特點等，經合理優化的設計，才能創造出符合行業發展要求的無塵潔凈環境，使得電子芯片的生產效率大大提高

 

千級半導體無塵室地面材料

1.環氧自流平涂料/環氧樹脂膠防靜電水泥自流平涂料車間路面建筑裝飾材料最常見的是環氧自流平涂料或環氧樹脂膠防靜電水泥自流平涂料。現階段，它已廣泛運用于生物醫學工程清理車間、電子器件清理車間、食品類日化清理車間和精密制造清潔車間。
2.塑料地板/依據其材質可分成三種：硬塑料地板/半硬塑料地板和軟塑料地板（延展性）。半硬塑料和軟塑膠是凈化處理車間常見的二種。塑料地板具備防水、防水、地面防滑、防火安全、阻燃性、強耐磨損、耐腐蝕、防水、防蛀蛀、耐腐蝕等優勢
3.架空地板/又被稱為消耗性靜電地板，關鍵由可調整支撐點、承重梁、控制面板等構件安裝而成，具備承載力強、抗磨損、防水、防火安全、防污、防靜電等特性
4.水磨石地板/具備較好的全面性、優良的斷裂韌性、損、抗壓強度、防靜電、容易清洗等特征的非延展性路面建筑裝飾材料。

 

千級半導體無塵室高效過濾器裝修施工要求

無塵室裝修施工高效過濾器要求高效空氣過濾器檢驗方法標準
1、鈉焰法Sodium Flame國家標準規定的鹽霧顆粒平均直徑為0.4mm，但是，國內現有設備的測量結果為0.5mm。歐洲實際試驗鹽霧顆粒中徑測量結果為0.65mm。隨著掃描法的普及，鈉焰法不再在歐洲使用。原來的國家標準正在中國修訂。相關標準：英國BS3928-1969，歐洲Eurovent 4/4，中國GB6165-85。
2、DOP法測塵源為0.3mm 單分散相DOP(增塑劑常用于塑料工業)液滴。DOP空氣的濁度。測量粉塵的儀器是光度計（photometer）。過濾器通過氣樣的濁度差來判斷DOP過濾粒子的效率。有關標準：美國標準MIL-STD-282
3.計數掃描法在歐洲很普遍，在美國也很普遍，其他國家也在密切關注。目前，世界上主流的高效過濾器測試方法。主要測量儀器為大流量激光粒子計數器或凝結核計數器（CNC）。用計數器掃描和檢查過濾器的整個出口表面，計數器給出每點灰塵的數量和粒徑。該方法不僅可以測量過濾器的平均效率，還可以比較每個點的局部效率。計數掃描是測試高效過濾器的最嚴格的方法，這是取代其他傳統方法的普遍趨勢。相關標準：歐洲EN 1882.1～1882.5-1998～2000，美國IES-RP-CC007.1-1992。
4.光度計掃描的塵源一般為多分散相液滴，如Laskin產生了噴管DOP 煙霧。使用光度計掃描過濾器的整個平面。這種掃描方法可以快速、準確地發現過濾器的泄漏。由于粉塵源是多分散相，光度計不能確定粉塵粒徑，因此這種掃描方法對過濾效率沒有實際意義。一些制造商和用戶認為，只要過濾紙的質量和規格得到嚴格控制，過濾器的效率就已經確定，因此，只有進行泄漏檢測掃描才能保證過濾器的質量。光度計的掃描和泄漏檢測方法沒有相應的標準，但該方法對生產過程的質量控制非常有效，所使用的測試設備相對簡單，因此一些制造商目前使用該方法。光度掃描測試臺很容易更改為計數掃描臺，花一些錢購買激光粒子計數器。
5、油霧法Oil Mist 粉塵源為油霧。數量是含油霧空氣的濁度。該儀器是一個濁度計。過濾器對油霧顆粒的過濾效率是根據氣體樣品的濁度差異來確定的。雖然中國標準可以使用油霧法，但國內制造商更愿意使用同一標準規定的另一種鈉火焰法，只有一些過濾材料制造商在測量過濾材料時仍使用油霧法。相關標準：中國GB6165-85，德國DIN24184-1990。

 

千級半導體無塵室排水裝修方案

應選擇無毒、不吸水不滲水、防滑、耐腐蝕、易清潔、防靜電的地面材料，地面還應有相應的坡度

半導體無塵室效果圖1	半導體無塵室效果圖2
半導體無塵室效果圖3	半導體無塵室效果圖4

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