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文件編號：XXX
檢測編號：
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被測單元 |
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潔凈級別 |
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氣流形式 |
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測試狀態 |
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檢測日期 |
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測試依據 |
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講述日期 |
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測試儀器廠家及編號: |
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紀錄0.5μm、5μm粒子數:采樣流量為2.83L/min;采樣周期為1min；（單元:粒/m3） |
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潔凈室/區 |
采 |
粒子 |
C1 |
C2 |
C3 |
平均值A=C1 C2 C3 |
平均值的均值 |
尺度誤差 |
置信上限UCL=M t×SE |
效果 |
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1 |
0.5μm |
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0.5μm |
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5μm |
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2 |
0.5μm |
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5 μm |
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5μm |
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1 |
0.5μm |
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0.5μm |
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5μm |
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2 |
0.5μm |
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5 μm |
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5μm |
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1 |
0.5μm |
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0.5μm |
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5μm |
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2 |
0.5μm |
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5 μm |
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5μm |
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1 |
0.5μm |
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0.5μm |
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5μm |
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2 |
0.5μm |
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5 μm |
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5μm |
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評定尺度:
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注：（1）A1,A2--某一采樣點的平均粒子濃度； UCL--平均值均值95%置信上限；
L--某一潔凈室/區內的總采樣點數，個； t--95%置信上限的t漫衍系數（6.31）；
文件編號：XXX
檢測編號： 檢測日期：
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潔凈室/區 |
采 |
粒子 |
C1 |
C2 |
C3 |
平均值A=C1 C2 C3 |
平均值的均值 |
尺度誤差 |
置信上限UCL=M t×SE |
效果 |
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1 |
0.5μm |
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0.5μm |
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5μm |
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2 |
0.5μm |
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|
5 μm |
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5μm |
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1 |
0.5μm |
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0.5μm |
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5μm |
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2 |
0.5μm |
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5 μm |
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|
5μm |
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1 |
0.5μm |
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0.5μm |
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5μm |
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2 |
0.5μm |
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5 μm |
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5μm |
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1 |
0.5μm |
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|
0.5μm |
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|
5μm |
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|||||||
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2 |
0.5μm |
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|
5 μm |
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|
5μm |
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1 |
0.5μm |
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5μm |
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2 |
0.5μm |
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|
5μm |
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1 |
0.5μm |
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|
5μm |
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2 |
0.5μm |
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5μm |
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1 |
0.5μm |
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5μm |
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2 |
0.5μm |
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5μm |
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檢測者： 復核者： 共 頁 第 頁
檢測編號： 檢測日期:
檢測者： 復核者： 共 頁 第 頁
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