潔凈車間各狀態下潔凈度檢測-空態IQ、靜態OQ、動態PQ
潔凈度等級檢測-空態IQ、靜態數據OQ、動態PQ。
CleanRoom-IQ.OQ.PQ。
專業術語：
GB50073-2001在凈化車間設計標準中對潔凈室進行了以下界定：
空態as-built。
設備已經完工，所有驅動力都接入并運行，但沒有制造武器裝備、材料和員工。
靜態數據at-rest。
設備已經完工，制造武器設備已經安裝，并按照社區業主和加工技術人員的同意運行，但沒有制造人員。
動態operational。
設備已經劃分的情況下運行，有劃分的員工到場，并在討論的情況下舉行事務。
在ISO14644中，將潔凈室檢測環節劃分如下：
空態潔凈室檢測-Installationqualificafion(IQ)
靜態數據潔凈室檢測-Operationalqualificafion(OQ)
動態潔凈室檢測-Performancequalificafion(PQ)
檢查空態潔凈室和安裝的武器裝備是否符合設計方案，至少檢查以下幾點：
1.潔凈室武器裝備成套設備；
2.所有電力能源介質和工藝物質的供應(水、電、蒸汽、空氣壓縮、蒸汽等)是否符合設計方案;
3.公共和防具的作用是否準確；
4.因此，自動控制系統、監控、報警、報警等的計量檢定日期；
5.安裝質量；
6.安裝過濾裝置（最終過濾裝置）的一致性；
7.開關電源及設備是否有備份數據，包括氣體處理武器裝備的排氣容量；
8.壓差；
9.氣旋特性(單側氣旋-流速、均值性和氣旋偏重)；
10.維護結構的密封性；
11.檢查循環系統氣體與室外氣體的比例是否符合設計方案；
12.外部潔凈度等級；
13.包裝中是否有配件。
檢查HEPA(ULPA)過濾裝置的一致性具有關鍵和現實意義，特別是ISO6級、ISO5級和其他更高級的潔凈室。檢查外部清潔度等級和維護結構的密封性（ISO1~ISO5級潔凈室的新穎關鍵）。
靜態數據潔凈室檢測(OQ)
本環節的檢測應至少進行以下事項：
1.確定潔凈區劃標準是否符合規定；
2.明確環境污染水平上升后潔凈室臭氧消毒時間的主要參數；
3.保持環境溫度和空氣濕度的牢固性；
4.根據物體數量確定潔凈度等級；
5.明確壓差；
6.外部清潔度等級應根據顆粒和微生物菌種的環境污染水平確定；
7.明確光照強度；
8.明確噪聲等級；
9.履行必要的專用工具，檢查氣旋和換風次數(必要時)；
10.將獲取數據信息的實際效果寫出書面。
為更好地評價動態潔凈室的牢固性：
1.認證潔凈室支解規章制度；
2.評估將溫度和空氣濕度保持在劃分限制內的工作能力；
3.根據物體數檢查潔凈度等級，明確空氣中的細菌濃度值(必要時)；
4.認證壓力差；
5.根據物體數量和微生物菌種數量確定外界潔凈度等級(必要時)；
6.檢查潔凈室操作文件的成套設備，包括主要參數的檢查方法、潔凈室事故的安全事故和接受的具體措施，是否有基本的技術規范，如潔凈室清潔、換衣、員工環境衛生等領域的技術規范；
7.檢查員工是否接受過學習培訓，是否有培訓管理系統和回應文件；
必要時還需要檢查振動水平、氣體水解水平、電磁感應強度。檢測的具體內容可根據潔凈室的特點進行更改。
在應用過程中，解決潔凈室的主要參數與通常的監督相同，監控應有一定的規律性，潔凈室客戶可以根據標準文件的規定明確這些規則。
檢測可在潔凈室過程中進行（反復檢測）；
以下各類產生后需要進行反復檢測：
1.清除潔凈室達不到給出主要參數的原因；
2.與潔凈室等應用標準的應用有很大的不同(如改變生產工藝等)；
3.氣體長期停止商品流通(送風)，危害潔凈室事務；
4.進行危害潔凈室的個人維護或維護，如更換HEPA過濾裝置后。
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